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半球透镜膜厚分布分析
根据行星夹具的膜厚理论模型, 对半球透镜表面的膜厚分布进行理论分析研究。推算半球面上典型点的膜厚公式, 用代 入法对不同情况......
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半球透镜
行星夹具
膜厚分布
不均匀性
蒸发源
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